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础滨驱动的设计应用
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Taurus TSUPREM-4 是用于开发半导体工艺技术并优化其性能的高级 1D 和 2D 工艺仿真器。Taurus TSUPREM-4 配有一套全面的高级工艺模型,可仿真半导体器件制造工艺步骤,减少高成本硅片投入完成的试验。此外,Taurus TSUPREM-4 还具备多种应力建模能力,可优化应力来改善器件性能。