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用于创建 TCAD 仿真的器件几何结构的工具

Sentaurus 器件结构编辑器是一款 2D 和 3D 器件结构编辑器，也是一款基于 CAD 技术的 3D 工艺仿真器。三种不同的操作模式拥有共同的数据表示。几何和工艺仿真操作可以自由混合，加入更多灵活性，生成 3D 结构。

此外，Sentaurus 器件结构编辑器提供前沿的可视化技术。结构在创建过程中就进行展示，强大的视图查看器可以选择性地显示某个区域，并使其他区域透明。Sentaurus 器件结构编辑器由 ACIS? 几何内核驱动，该内核性能经过充分验证，广泛用做许多不同应用的基础。