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先进的 1D、2D 和 3D 工艺仿真器

Sentaurus 工艺是一种先进的 1D、2D 和 3D 工艺仿真器，可开发并优化硅半导体工艺技术。这是新一代的工艺仿真器，可应对当前以及未来工艺技术面临的挑战。Sentaurus 工艺配备了一套先进的工艺模型，包括经过设备供应商提供的数据校准的默认参数，可提供对从纳米级 CMOS 到大尺寸高压器件的广泛技术进行预测性仿真的模拟环境。Sentaurus 工艺是 TCAD 内核产物综合套件中的一部分，TCAD 系列产物可用于多维工艺、器件和系统仿真，内含功能强大的用户界面。