91吃瓜网

用于准确模拟器件结构形貌的工艺步骤

Sentaurus Topography 是一款高级仿真器，基于物理模型仿真淀积、蚀刻、旋涂式薄膜、回流和化学机械抛光等结构生成的工艺步骤。它凭借高级物理模型和数字算法，支持具备不同材质属性的复杂的多层工艺结构。此外，Sentaurus Topography 可通过仿真构建互联层的复杂步骤，也非常适合预测后端工艺中的结构形貌。

工艺开发工程师可利用 Sentaurus Topography 来优化现有工艺和开发新的工艺流程。在制造业，Sentaurus Topography 是一款重要的工具，可用于研究工艺偏差和波动的影响，以改善工艺能力和良率。

此外，Sentaurus Topography 与 Sentaurus Process 之"间的接口能将前端工艺热过程与结构形貌仿真综合到同一个环境中。Sentaurus Topography 已完全整合到处于技术前沿的 TCAD 框架和虚拟工具——Sentaurus Workbench 中。