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础滨驱动的设计应用
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CATS 软件包将设计数据转译为电子束和激光加工机器可读的指令。这包括对几乎所有光罩和直写设备提供商的支持。CATS 与各家光刻工具制造商密切合作,确保所有数据转换都经过优化和测试,可实现光罩加工机器的高性能。以下是当前支持的接口格式列表,按光刻技术类型(电子束、激光、光学图像发生器)分类。
电子束:
激光:
光学图像发生器: