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光刻输出选项

针对光罩和直写的综合数据准备解决方案

CATS 软件包将设计数据转译为电子束和激光加工机器可读的指令。这包括对几乎所有光罩和直写设备提供商的支持。CATS 与各家光刻工具制造商密切合作,确保所有数据转换都经过优化和测试,可实现光罩加工机器的高性能。以下是当前支持的接口格式列表,按光刻技术类型(电子束、激光、光学图像发生器)分类。

光刻输出选项:

电子束:

  • Cambridge
  • Hitachi
  • JEOL
  • MEBES
  • Philips
  • Toshiba/NuFlare
  • Varian ALF

激光:

  • Applied Materials ALTA
  • Micronic

光学图像发生器:

  • Electromask English, Metric
  • Mann 3000, 3600, Eng., Metric