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础滨驱动的设计应用
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基本和高级分解
CATS 分解是 CATS 套装的核心
CATS 分解、相关选项及性能是 CATS 套装的核心。一些定义有助于您了解以下详细信息。首先，“库文件”指结构化设计文件，其次，“平面文件”指非结构化的光刻文件。分解操作包括：
- 将设计数据（CIF?、Applicon?、DXF? 或 GDS-II?、OASIS?）中的多边形转换为电子束工具文件或检测数据库中的矩形和梯形
- 转换光学图像发生器数据文件中的矩形和旋转矩形。
- 重新分解一组数据，以进行缩放或调整操作。
分解选项包括：
格式：&苍产蝉辫;根据输出光刻选项指定输出文件格式
分辨率：&苍产蝉辫;在输出文件中定义最小的可分辨单元。
调整：&苍产蝉辫;单个矩形和梯形的对称或非对称调整
缩放：&苍产蝉辫;指定分解期间适用于数据的连续比例因子。
增加：&苍产蝉辫;调整、缩放和布尔运算后正或负增量偏置
布尔运算：或、和、异或、减和比较；组合或比较两个输入文件。
去除重迭：&苍产蝉辫;修复和/或组合邻近或重迭的图形。
数据压缩：&苍产蝉辫;算法集从阵列或非阵列输入中生成阵列。
空白和填充：&苍产蝉辫;在输入文件中指定分解期间需要忽略或填充的区域。
精简：&苍产蝉辫;指定分解期间需要忽略的库结构。
反调：&苍产蝉辫;允许数据在分解期间被反调。
旋转： 以 90 度的增量旋转输入数据，或以 45 度的增量镜像旋转输入数据。
选择：&苍产蝉辫;绘图和分解期间从输入文件中选择数据所用的方法。
条带状：&苍产蝉辫;根据输出格式规则输出数据块或条带状高度和宽度。