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分解选项包括：

格式：&苍产蝉辫;根据输出光刻选项指定输出文件格式

分辨率：&苍产蝉辫;在输出文件中定义最小的可分辨单元。

调整：&苍产蝉辫;单个矩形和梯形的对称或非对称调整

缩放：&苍产蝉辫;指定分解期间适用于数据的连续比例因子。

增加：&苍产蝉辫;调整、缩放和布尔运算后正或负增量偏置

布尔运算：或、和、异或、减和比较；组合或比较两个输入文件。

去除重迭：&苍产蝉辫;修复和/或组合邻近或重迭的图形。

数据压缩：&苍产蝉辫;算法集从阵列或非阵列输入中生成阵列。

空白和填充：&苍产蝉辫;在输入文件中指定分解期间需要忽略或填充的区域。

精简：&苍产蝉辫;指定分解期间需要忽略的库结构。

反调：&苍产蝉辫;允许数据在分解期间被反调。

旋转： 以 90 度的增量旋转输入数据，或以 45 度的增量镜像旋转输入数据。

选择：&苍产蝉辫;绘图和分解期间从输入文件中选择数据所用的方法。

条带状：&苍产蝉辫;根据输出格式规则输出数据块或条带状高度和宽度。