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CATS
マスクデータ?プレパレーションのテクノロジをリード
CATS?は、IC、MEMS、TFT-LCD、TFH、フォトニクス、バイオチップなどの製品のパターンの生成と製造に使用する複雑な设计データを電子ビームおよびレーザー機器向けのマシン語命令に変換する、拡張性と柔軟性に優れたソフトウェア?アプリケーションです。
颁础罢厂は、実质的に世界中の全てのフォトマスク製造施设に导入されており、マスク製造、検査、测长、およびウェハーへの直描におけるデファクト?スタンダードとなっています。&苍产蝉辫;
アプリケーション
- 基本、および高度な変换
颁础罢厂の変换机能は、様々なマスク描画机や検査机の差异に伴う课题に取り组んでいます。
- 近接効果补正
颁础罢厂は、电子ビームや光の近接効果の补正を提供します。
- ジョブデックの操作
高性能で高度な対话型で、マスクおよびパターンをサポートします。
- 製造ルール?チェック
电子ビームとレーザーの露光ツールに加え、あらゆる主要検査ツールをサポートする唯一のソフトウェア?パッケージです。
- リソグラフィ出力オプション
マスクおよび直描のための包括的なデータ?プレパレーションのソリューション
- 测长マーキング
ジョブデック情報と電子ビーム?パターン?ファイル?データを利用するCATS测长マーキング?オプションは、独自のグラフィックとコマンド駆動型環境を提供します。
- 検査データ?プレパレーション
颁础罢厂は、多种多様な电子ビーム露光装置と主要なフォトマスク検査装置の両方をサポートする唯一の市贩ソフトウェア?パッケージです。
- 分散処理
颁础罢厂は、非常にスケーラブルで费用効果の高いマスク?データ?プレパレーションを提供します。