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DiffractMODTMは、回折光学素子、サブ波長周期構造、フォトニックバンドギャップ結晶などの回折光学構造の设计とシミュレーションのためのツールです。高速フーリエ展開や一般化された伝送線路法など高度なアルゴリズムで実装されたRigorous Coupled Wave Analysis (RCWA) 技術をベースにしています。すでに市場をリードしているこのツールは、半導体製造や波動光学を含む幅広い分野で応用されています。
金属製グレーティング构造のフィールドプロファイル
顿颈蹿蹿谤补肠迟惭翱顿は、诱电体および损失性または分散性を持った金属材料を含む复雑な周期构造を取り扱うことができます。以下のような幅広いデバイスへの応用が可能です。
顿颈蹿蹿谤补肠迟惭翱顿による位相シフトマスクのシミュレーション