础滨驱动的设计应用
DiffractMOD? 是一种用于衍射光学结构的设计和模拟工具,例如衍射光学元件、次波长周期结构和光子带隙隙晶体。它基于严格耦合波分析 (RCWA) 技术,该技术已使用高级算法实现,包括快速傅里叶分解和泛用传输线公式。该工具在半导体制造和波动光学等领域有广泛的应用,已成为市场领导者。
在基础 RCWA算法扩充高级算法选项以提高其稳健性、效率和易用性
完全集成到?RSoft CAD Environment中。
DiffractMOD 可以处理复杂的周期性结构,包括含有有损耗介质的或色散材料的电介质和金属元件。它适用于广泛的器件模拟,包括但不限于:
波导共振光栅
衍射光学器件 (DOE)
表面浮雕和折射率光栅
滤波器&苍产蝉辫;
光学测量
纳米光刻
偏振传感器
人工电介质镀膜&苍产蝉辫;
光伏系统
3D 显示
光互连
光学数据存储&苍产蝉辫;
光谱学
高级算法选项可用于提高收敛性
模态传输线 (MTL) 框架可确保模拟稳定性
2D 和 3D 的全向量模拟,并允许圆锥入射
使用逆推法来提高TM 场域的收敛性。 对于 3D 模拟,DiffractMOD 可以根据结构选择合适的算法。
可考量金属的材料色散和复杂折射率
计算、显示和输出衍射效率光谱
计算总反射功率、发射功率和吸收功率
精密的场域输出选项可使用户在任何位置计算和显示场域配置资料&苍产蝉辫;
可以轻松计算任何衍射效率的光谱与波长、角度和偏振的关系
直接输出常用计量参数
使用 DiffractMOD 模拟相位移光罩